一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构
基本信息
申请号 | CN201420842962.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN204342923U | 公开(公告)日 | 2015-05-20 |
申请公布号 | CN204342923U | 申请公布日 | 2015-05-20 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I;F27D1/10(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 李杰;谈建岭;史俊杰 | 申请(专利权)人 | 常州爱晶光电设备有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 213000 江苏省常州市武进区高新区西湖路8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种带有橡胶隔水层的晶体生长设备炉体壁内水道结构。包括设有抽气口的炉体,其特征在于,所述炉体通过内壁和外壁构成一水道层,所述水道层中固定安置有复数条隔板;所述每条隔板分别由橡胶隔水层和不锈钢隔水板组合构成。该水道结构通过加设橡胶隔水层来解决水道隔层间的密封问题,有利于水道间水流的正常流动。 |
