一种新型双层离子筛网

基本信息

申请号 CN202022402971.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213424917U 公开(公告)日 2021-06-11
申请公布号 CN213424917U 申请公布日 2021-06-11
分类号 H01J37/08;H01J37/02 分类 基本电气元件;
发明人 张志强;张鹏 申请(专利权)人 上海稷以科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200240 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型双层离子筛网,包括圆筒,圆筒上下两个开口分别安装有上层气体挡板和下层气体挡板,上层气体挡板分为中间区域和边缘区域,中间区域无开孔,边缘区域均匀分布有上层通孔;所述下层气体挡板均匀设有下层通孔。本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型提升了灰化设备去胶速率的均匀性,同时针对不同的工艺压力和气体流量,可通过调节两层气体挡板的间距来实现高均匀性的稳定性,提高了设备的工艺能力。