一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网
基本信息
| 申请号 | CN202110839983.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113467200A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113467200A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G03F7/42（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 王艳良;李鑫 | 申请（专利权）人 | 上海稷以科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海创开专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张佑富 |
| 地址 | 201100上海市闵行区莲花南路2899号8幢2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种改善等离子体灰化工艺均匀性的离子筛网，包括筛网本体，所述筛网本体中部设有凸形区域。本发明与现有技术相比的优点是：本发明通过重新设计离子筛网的机械形状，达到均匀性的提高，有利于控制晶圆中心的去胶速率；同时，这种离子筛网还可以翻转180度进行装配，适用于那些原本晶圆中心去胶速率较慢的场合，使得工艺调整更加容易。 |
