一种可加热的离子筛网装置
基本信息
| 申请号 | CN202022813065.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213242487U | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN213242487U | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | H01J37/32;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张志强;杨平;王振 | 申请（专利权）人 | 上海稷以科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200240 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可加热的离子筛网装置，属于晶圆设备技术领域，解决了离子筛网的热胀冷缩而开裂的问题，其技术要点是：包括加热块、导热块和离子筛网，离子筛网中部分布有若干筛网开孔，所述加热块通过导热块与离子筛网连接，加热块内部镶嵌有加热体，加热体连接温度控制器；可根据工艺状态的不同来调整、节对离子筛网的加热状态，确保离子筛网表面的温度在一定范围内波动，可有效的降低离子筛网表面聚合物开裂而对腔体的污染，降低了颗粒对工艺腔体的污染，提高了生产工艺的稳定性。 |
