一种可调节气孔大小的离子筛网
基本信息
| 申请号 | CN202022405508.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213424938U | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN213424938U | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | H01L21/67;H01J37/32 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张志强;张鹏 | 申请（专利权）人 | 上海稷以科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200240 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可调节气孔大小的离子筛网，包括上层孔板和下层孔板，上层孔板和下层孔板中心设有一共用转轴，所述上层孔板上均匀分布有上通孔，下层孔板上均匀分布有与上通孔大小、形状、数量及位置均相同的下通孔；所述上层孔板或下层孔板连接有旋转驱动机构。本实用新型与现有技术相比的优点是：可通过自动调节旋转角度来实现不同的孔径，提升了去胶速率大小（或刻蚀速率）的可调范围，避免了为实现不同去胶工艺要求离子筛网的频繁更换，提高的生产工艺的稳定性和生产效率。 |
