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一种改善传送手臂与载盘之间温差的方法及传送手臂结构

基本信息

申请号 CN202110835695.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113421844A 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN113421844A 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 王艳良;李鑫 申请（专利权）人 上海稷以科技有限公司
代理机构 上海创开专利代理事务所（普通合伙） 代理人 张佑富
地址 201100上海市闵行区莲花南路2899号8幢2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种改善传送手臂与载盘之间温差的方法及传送手臂结构，所述方法是在传送手臂表面设置与晶圆载盘材质相同的导热条，将导热条固定于传送手臂与晶圆载盘接触的表面。所述传送手臂结构包括陶瓷手臂主体，陶瓷手臂主体设有载盘承托区和散热区，所述陶瓷手臂主体上设有导热条，所述导热条自陶瓷手臂主体上的载盘承托区表面延伸至散热区表面。本发明与现有技术相比的优点是：有效的解决了铝质晶圆载盘和陶瓷传送手臂间原本存在的热量积聚，使得这部分热量可以快速散发，抑制了超薄片因热量难以散发而造成的卷曲现象。