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一种主镜结构简化的平面干涉仪

基本信息

申请号 CN202022282291.1 申请日 -
公开（公告）号 CN213120456U 公开（公告）日 2021-05-04
申请公布号 CN213120456U 申请公布日 2021-05-04
分类号 G01B11/30;G01B9/02 分类 测量；测试;
发明人 马仁勇 申请（专利权）人 上海翔野光学科技有限公司
代理机构 深圳市创富知识产权代理有限公司 代理人 高红
地址 201800 上海市嘉定区南翔镇田旺路65号1幢东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种主镜结构简化的平面干涉仪，包括壳体，所述壳体的内部顶壁安装有激光灯，所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第一固定板，两个所述第一固定板相邻的一侧固定连接有分光棱镜，所述壳体的内侧壁对称焊接有两个第二固定板，两个所述第二固定板相邻的一侧固定连接有主镜，所述主镜的上表面一体成型有弧面部，在本装置使用的过程中，通过主镜一体成型的弧面部和平面部，简化平面干涉仪的主镜结构，从而降低了平面干涉仪的制造成本，利于平面干涉仪生产使用，且在使用的过程中，主镜一体成型的弧面部和平面部，减小了主体的整体变形，同时简化主镜结构，使得在平面干涉仪装配的过程中操作更加简便，便于对平面干涉仪进行装配。