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一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备

基本信息

申请号 CN201910796178.4 申请日 -
公开（公告）号 CN110660696B 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN110660696B 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01L21/66（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I;B24B37/10（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 徐良;朱志平;蓝文安;支俊华;占俊杰;阳明益;刘建哲;余雅俊 申请（专利权）人 金华银行股份有限公司科技支行
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 董李欣
地址 321000浙江省金华市南二环西路2688号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，该制造方法在晶片退火之后直接进行甩蜡烘烤、滴蜡测量和滴蜡抛光步骤。滴蜡抛光步骤包括：在烘烤后的蜡膜的表面晶片的正中心一次性滴下预先测定的蜡料；将滴蜡后的晶片的蜡膜面与带有热度的陶瓷盘平面相贴，使蜡滴被挤压形成圆形蜡饼，并相应地在晶片的与蜡膜面相对的背面顶起一与蜡饼形状一致的圆台；对产生圆台的晶片的背面进行抛光，使晶片的背面中间凹陷且圆台的外缘与晶背面的其余部分平滑过渡，并成为中间凹陷底部的圆面。滴蜡设备包括吸盘、点胶阀、储蜡桶、导蜡管和数显调压阀。本发明的蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备，省去了晶片弯曲度分选工作，并能大幅提升衬底的产品合格率。