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一种平板式PECVD机台送气管路

基本信息

申请号 CN201921970922.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211394624U 公开（公告）日 2020-09-01
申请公布号 CN211394624U 申请公布日 2020-09-01
分类号 C23C16/50(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 分类 -
发明人 陈金元 申请（专利权）人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
代理机构 苏州国卓知识产权代理有限公司 代理人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
地址 225400江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种平板式PECVD机台送气管路，包括管道、插管和环板，所述管道的内部插接有插管，所述插管的外壁套接有环板，所述环板的两侧均安装有连接构件，所述插管的外壁底端安装有夹紧机构，所述夹紧机构的底端安装有保温构件。该平板式PECVD机台送气管路，通过插管、环板、和送气管的配合，达到了可以对管道进行送气工作，通过支块、扭力弹簧、撑杆、定块和卡杆的配合，达到了可以对插管与管道进行卡接固定，同时可以取消卡接方便对插管的拆卸，通过第一夹板、销轴、第二夹板和螺栓的配合，达到了可以将保温构件安装到送气管的外壁，通过支架、外壳、滤网、橡胶板和保温棉的配合，达到了可以对送气管进行保温工作。