一种PECVD系统的限位装置
基本信息
| 申请号 | CN201921981779.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211771538U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211771538U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈金元 | 申请（专利权）人 | 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州国卓知识产权代理有限公司 | 代理人 | 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司 |
| 地址 | 225400江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD系统的限位装置，包括基座、连接板、驱动机构、卡紧机构和夹紧机构，连接板可固定安装在基座内腔的左右两侧，驱动机构装配在基座的一侧，卡紧机构装配在驱动机构的一侧，夹紧机构螺纹连接在连接板的外壁。该PECVD系统的限位装置，通过向内侧移动的第一夹板可以对其内侧放置的外接电极板进行夹紧固定，进而对其位置进行限位，通过连接座、弹簧、第二夹板和拉杆之间的配合，从而可以对外接太阳能玻璃板进行夹紧固定，进而对其位置进行限位，该装置可以防止太阳能玻璃板和PECVD工件架的电极板摩擦，避免玻璃基板的受光面和膜面被划伤，保证了制造的质量，稳定性好，实用性强，满足现有市场上的使用需求。 |
