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用于异质结太阳能电池的镀膜方法及镀膜设备

基本信息

申请号	CN202110645343.3	申请日	-
公开（公告）号	CN113410342A	公开（公告）日	2021-09-17
申请公布号	CN113410342A	申请公布日	2021-09-17
分类号	H01L31/20（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C28/04（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	欧阳亮	申请（专利权）人	理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	225400江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧
法律状态	-

摘要

本发明提供用于制造异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备。所述方法先将承载有经制绒硅片的托盘传送至第一本征PECVD反应腔；然后对第一本征PECVD反应腔、N型PECVD反应腔、第一PVD反应腔同时抽真空；接着依次在各腔中进行第一本征PECVD、N型PECVD、第一PVD工艺，从而在硅片正面形成第一本征非晶硅、N型非晶硅及第一TCO；然后对各腔同时破真空，并通过翻面装置将硅片进行翻面后以背面朝上的方式放置至托盘；接着将托盘传送至第二本征PECVD、P型PECVD反应腔以及第二PVD反应腔分别进行第二本征PECVD、P型PECVD工艺以及第二PVD工艺，从而在硅片背面分别形成N型非晶硅、P型非晶硅及第二TCO；最后对第二本征、P型PECVD以及第二PVD反应腔同时破真空。本发明能减少额外的破空或翻面。