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一种PECVD尾气处理装置

基本信息

申请号 CN201921960206.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211753227U 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN211753227U 申请公布日 2020-10-27
分类号 B01D46/02(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 陈金元 申请（专利权）人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
代理机构 苏州国卓知识产权代理有限公司 代理人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
地址 225400江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件，所述收集构件的右侧安装有进气管，所述收集构件的内部安装有除尘构件，所述除尘构件的左侧上下两端均安装有撑杆，所述撑杆的外壁套接有插管，所述插管之间安装有过滤装置。该PECVD尾气处理装置，通过支板、插管、第一螺纹管、过滤袋、支块、横杆和支架的配合，达到了可以对进气管进入到箱体内部带有灰尘的有害气体中的灰尘进行过滤工作，同时可以对过滤袋进行更换工作，通过外壳、盒体、环板、过滤棉和活性炭的配合，达到了可以对除尘后的有害气体中的有害物质进行过滤净化工作，同时方便对过滤棉和活性炭进行更换工作，达到了可以将灰尘进行过滤收集工作，方便对灰尘的处理。