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一种PECVD设备炉体支撑调节机构

基本信息

申请号 CN201921973082.2 申请日 -
公开（公告）号 CN211394625U 公开（公告）日 2020-09-01
申请公布号 CN211394625U 申请公布日 2020-09-01
分类号 C23C16/50(2006.01)I 分类 -
发明人 陈金元 申请（专利权）人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
代理机构 苏州国卓知识产权代理有限公司 代理人 理想万里晖真空装备（泰兴）有限公司
地址 225400江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种PECVD设备炉体支撑调节机构，包括：底座；一对结构相同的调节机构，其分别固定安置于底座上壁面，且分别位于底座前后两端相互对称；还包括:控制箱，所述控制箱固定安置于一对所述其中一个调节机构上，本实用新型涉及PECVD设备技术领域，通过承载环承载炉体的前后两端，并通过翻折紧固环，通过螺栓和螺母的配合使炉体进行夹紧固定；根据推舟送片机的高度，通过控制箱输入，同时控制两个升降结构运动；使螺旋杆同外套筒受力在轴承内转动，进而使安装板在限位限位卡板内带动承载环上的炉体进行升降；该设计不仅可以有效的承载炉体的重量，且依靠电机的传动力使炉体上下升降移动，便于控制以及调节精度较高。