化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置
基本信息
| 申请号 | CN201821014973.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208617978U | 公开（公告）日 | 2019-03-19 |
| 申请公布号 | CN208617978U | 申请公布日 | 2019-03-19 |
| 分类号 | C23C18/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 芦国华 | 申请（专利权）人 | 华夏易能投资（浙江）有限公司 |
| 代理机构 | 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人 | 华夏易能投资（浙江）有限公司 |
| 地址 | 313100 浙江省湖州市长兴经济开发区明珠路1278号长兴世贸大厦A座11层1107-9室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开提供了一种化学浴沉积设备、送料装置及其导向装置，属于化学浴沉积镀膜技术领域。该导向装置包括基板，设有导向通孔；垫块，设于基板并与基板滑动配合，且具有延伸出基板边缘的延伸部；支杆，设于垫块，并向远离基板的方向延伸；导向轮，可转动地设于支杆；定位块，设于延伸部远离导向轮的表面；第一连接件，沿第一方向穿过垫块和导向通孔，并通过固定件可拆卸地固定，且第一连接件在第二方向上与导向通孔不完全接触；第二连接件，设有限位部，第二连接件沿第二方向穿入基板并螺纹连接，且限位部与定位块卡合；第二方向和第一方向为不同的方向。该导向装置稳定性高，无需高频维护和校正。 |
