首页/ 慧石（上海）测控科技有限公司/ 专利详情

MEMS闭环加速度计及其控制方法

基本信息

申请号 CN202111239154.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114280330A 公开（公告）日 2022-04-05
申请公布号 CN114280330A 申请公布日 2022-04-05
分类号 G01P15/125（2006.01）I;G01P15/08（2006.01）I;G01P1/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 郭梅寒;张磊 申请（专利权）人 慧石（上海）测控科技有限公司
代理机构 深圳国新南方知识产权代理有限公司 代理人 李小东
地址 200000上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种MEMS闭环加速度计及其控制方法，其中，MEMS闭环加速度计包括：MEMS敏感结构，包括质量块、与质量块连接驱动电容以及检测电容；用于将检测电容的电容信号转换为电压信号的检测电路模块；与检测电路模块连接的反馈控制电路模块；检测电容与检测电路模块之间形成电容检测回路，驱动电容、检测电路模块与反馈控制电路模块之间形成电压反馈控制回路；以及用于切换电容检测回路以及电压反馈控制回路的开关控制模块，开关控制模块包括第一固定电容、与电容检测回路和电压反馈控制回路均连接的第一开关以及与第一固定电容和电容检测回路均连接的第二开关。通过上述方式，能够提高驱动电容的大小，增大反馈静电力。