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微机电结构

基本信息

申请号 CN202023337718.X 申请日 -
公开（公告）号 CN215101976U 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN215101976U 申请公布日 2021-12-10
分类号 B81B3/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01P15/08（2006.01）I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 郭梅寒;贺丹;王辉 申请（专利权）人 慧石（上海）测控科技有限公司
代理机构 深圳国新南方知识产权代理有限公司 代理人 周雷
地址 200000上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种微机电结构包括：衬底、设于所述衬底上的质量块、围设于所述质量块外的悬臂梁、与所述质量块通过电容连接的第一电极、与所述质量块通过电容连接的第二电极以及部分设于所述质量块上且另一部分设于所述衬底上的锁止组件。在所述第二电极上外加电信号，驱动所述质量块在垂直第一方向上发生位移，当位移增大至触发锁止组件的两部分锁定，使质量块固定，以改变所述质量块在第一方向上的位置进而改变所述微机电结构的结构。通过以上方式，在外加的第二电极的驱动下，能够不可逆的改变质量块在第一方向上运动时支撑悬臂梁的总刚度，形成不同性能的微机电结构。