压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN202120179411.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214702570U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214702570U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | G01L1/18（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周志健;余伦宙;熊娟;赵怿 | 申请（专利权）人 | 慧石（上海）测控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周雷 |
| 地址 | 200000上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种压力传感器，压力传感器包括衬底结构以及顶层结构，顶层结构包括第一硅层、设于第一硅层背面的第一绝缘层、设于第一绝缘层背面的压阻层、设于第一硅层正面的顶层第一下绝缘层、形成在顶层第一下绝缘层的正面的厚半导体材料层以及包覆厚半导体材料层的顶层第二下绝缘层；第一硅层用作压力敏感膜；厚半导体材料层用作岛结构；压阻层包括至少一个压阻；衬底结构的上表面向下凹陷形成键合槽，厚半导体材料层键合于键合槽内并与键合槽形成间隙。该压力传感器在第一硅层的正面形成用作岛结构的厚半导体材料层，达到有效控制压力敏感膜的厚度一致性以及平面尺寸一致性的目的。 |
