微机电谐振式压力敏感结构
基本信息
| 申请号 | CN202120960989.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216593886U | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN216593886U | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | G01L1/10（2006.01）I;G01L9/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭梅寒;余伦宙;刘洪喜 | 申请（专利权）人 | 慧石（上海）测控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 200000上海市青浦区华纺路99号99弄6幢3楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种能够消除谐振频率变化中的非线性频率变化的微机电谐振式压力敏感结构，包括：具有密封空腔的基体，设置在基体的顶部的压敏薄膜，设置在密封空腔内、并且中部悬空的弹性悬臂梁，至少一对相对设置在弹性悬臂梁两侧的功能电极，至少一对相对设置在弹性悬臂梁两侧的补偿电极，以及设置在所述压敏薄膜上、并且自所述压敏薄膜向所述基体的底部方向延伸形成的多个锚点；固定补偿电极的锚点在压敏薄膜受压发生形变时随固定弹性悬臂梁的锚点一同位移。本实用新型提供的微机电谐振式压力敏感结构能够在压敏薄膜受压发生形变时，通过锚点传递形变至弹性悬臂梁并消除其谐振频率变化中的非线性频率变化的部分，从而提高测量的准确性。 |
