一种紫外准分子激光器
基本信息
| 申请号 | CN202011454122.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112594481A | 公开（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申请公布号 | CN112594481A | 申请公布日 | 2021-04-02 |
| 分类号 | F16M3/00(2006.01)I;H01S3/03(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 田赟;朱能伟 | 申请（专利权）人 | 中山普宏光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 中山驰鼎专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡犇 |
| 地址 | 528400广东省中山市火炬开发区会展东路16号数码大厦1607号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种紫外准分子激光器，包括箱体，所述的箱体内设有能够充入卤素气体并在气体反应后能发出紫外激光的激光发生组件，所述的箱体内还设有用于控制激光发生组件工作的控制器，所述的箱体上还设有至少四个用于支撑到支撑面上的支撑组件，所述的支撑组件均包括连接于箱体上并能支撑到支撑面上的支撑座，所述的支撑座内设有能够相对其上下移动的滚轮组件，所述的滚轮组件与箱体之间还设有气囊，所述的箱体内还设有能将激光发生组件内产生的废气抽出并能向气囊充气而将滚轮组件顶推出支撑座外的气泵。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供一种便于移动而且使用时稳定的紫外准分子激光器。 |
