一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备

基本信息

申请号 CN201810861337.X 申请日 -
公开(公告)号 CN108816963A 公开(公告)日 2018-11-16
申请公布号 CN108816963A 申请公布日 2018-11-16
分类号 B08B7/00 分类 清洁;
发明人 马跃;方晓东;朱能伟;梁勖;游利兵 申请(专利权)人 中山普宏光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 510100 广东省中山市火炬开发区会展东路16号数码大厦1607号房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及紫外光和紫外激光清洗技术领域,为一种紫外光和紫外激光双光源清洗设备,包括紫外激光光源、反射镜、光路整形系统、紫外灯光源、光学系统、待清洗物件和工作台。本发明通过将紫外光和紫外激光两种光清洗方式进行有效结合,达到更为理想的光清洗效果,具有无研磨、非接触、热效应小和适用于多种材质和污染物的清洗等特点;紫外波长的光源可以有效清洗其他波长无法清洗的特殊材料杂质、污染等;可以根据清洗对象的特征、通过双光源置换调整清洗光斑的面积、能量等参数,实现高效、节能、高质量的清洗。