一种直拉法单晶用真空吸盘
基本信息
| 申请号 | CN201922022212.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210974923U | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN210974923U | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王琳;郭樱花;金鑫 | 申请（专利权）人 | 陕西西京电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范万兴 |
| 地址 | 710065陕西省西安市雁塔区电子城电子西街3号502厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种直拉法单晶用真空吸盘，包括真空吸盘主体，所述真空吸盘主体的顶部固定连接有吊环，所述真空吸盘主体顶部的右侧连通有抽空管，所述真空吸盘主体两侧的底部均固定连接有吸盘下端定位块，所述吸盘下端定位块的内侧开设有密封圈安装槽，所述吊环的底部与真空吸盘主体顶部的连接处通过安装板固定连接。本实用新型通过设置真空吸盘主体、吊环、抽空管、吸盘下端定位块和密封圈安装槽的相互配合，达到了可以对大小及重量不同石英坩埚进行吊装的优点，解决了石英坩埚在吊装时不会出现受力不均匀，不会导致石英坩埚破裂，不会造成部分隐裂不会导致漏硅事故，减少经济损失和提高生产安全。 |
