一种多晶铸锭坩埚护板
基本信息
申请号 | CN201720571611.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206828678U | 公开(公告)日 | 2018-01-02 |
申请公布号 | CN206828678U | 申请公布日 | 2018-01-02 |
分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陶亚明;黄兴;吴凯;郭樱花 | 申请(专利权)人 | 陕西西京电子科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 710065 陕西省西安市雁塔区电子城电子西街3号502厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种多晶铸锭坩埚护板,包括石英坩埚以及与石英坩埚一体设置的底壳,在所述石英坩埚的外侧设置有护板,在护板的底部是包裹底壳的护板底壳,所述护板底壳的侧面位置设置有安装柱,其底部设置有若干排列均匀的防振动机构,在所述石英坩埚的最下端设置有热量收集装置,该热量收集装置与石英坩埚之间设置有热场传递管,该热场传递管与护板以及护板底壳的连接端设置有密封结构。本实用新型提供了一种多晶铸锭坩埚护板,该设备护板通过设置有若干防振动机构降低石英坩埚的稳定性以及通过护板保持石英坩埚的热量传递。 |
