一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩

基本信息

申请号 CN201922007169.0 申请日 -
公开(公告)号 CN210856404U 公开(公告)日 2020-06-26
申请公布号 CN210856404U 申请公布日 2020-06-26
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 -
发明人 王琳;金鑫;耿来波 申请(专利权)人 陕西西京电子科技有限公司
代理机构 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 代理人 范万兴
地址 710065陕西省西安市雁塔区电子城电子西街3号502厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩,包括防尘罩主体,所述防尘罩主体的顶部设置有加料口,所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔,所述加料口的顶部设置有加料漏斗,所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环,所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽,防尘罩主体的左侧设置有定位孔。本实用新型通过设计防尘罩主体,圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘,避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散,污染单晶炉内壁导致产品质量下降,保证工作人员的生命健康,通过设计加料口,以便进行加料操作,通过设计排气孔,方便气体的排出,从而提高防尘效果,解决了现有防尘效果差的问题。