一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩
基本信息
申请号 | CN201922007169.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210856404U | 公开(公告)日 | 2020-06-26 |
申请公布号 | CN210856404U | 申请公布日 | 2020-06-26 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 王琳;金鑫;耿来波 | 申请(专利权)人 | 陕西西京电子科技有限公司 |
代理机构 | 北京兴智翔达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 范万兴 |
地址 | 710065陕西省西安市雁塔区电子城电子西街3号502厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩,包括防尘罩主体,所述防尘罩主体的顶部设置有加料口,所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔,所述加料口的顶部设置有加料漏斗,所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环,所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽,防尘罩主体的左侧设置有定位孔。本实用新型通过设计防尘罩主体,圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘,避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散,污染单晶炉内壁导致产品质量下降,保证工作人员的生命健康,通过设计加料口,以便进行加料操作,通过设计排气孔,方便气体的排出,从而提高防尘效果,解决了现有防尘效果差的问题。 |
