一种266nm深紫外固体激光器
基本信息
| 申请号 | CN202011571371.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112688151A | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN112688151A | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | H01S3/082(2006.01)I;H01S3/081(2006.01)I;H01S3/109(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 肖志松 | 申请（专利权）人 | 罗根激光科技（武汉）有限公司 |
| 代理机构 | 重庆信航知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴从吾 |
| 地址 | 430205湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛长咀村长咀光电子工业园一期8号厂房1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种266nm深紫外固体激光器，包括用于提供激光晶体受激辐射的激光电源、用于对激光器进行散热的水冷却系统、1064nm谐振腔、腔内倍频光路和腔外四倍频光路，1064nm谐振腔包括第一平凸透镜、第二平凸透镜、平凸镜、激光晶体、声光调制器和第一反射镜；腔内倍频光路包括LBO二倍频晶体和532nm分光镜；腔外四倍频光路包括第二发射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜；本发明一种266nm深紫外固体激光器通过谐振腔内分离倍频的532nm激光；利用色散原理分离四倍频后产生的266nm激光和剩余的532nm激光，并输出266nm激光至出光口；光学模式较好，光‑光转换效率达到80％。 |
