籽晶托
基本信息
| 申请号 | CN202111404931.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114086246A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114086246A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | C30B23/02（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李远田;陈俊宏 | 申请（专利权）人 | 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 花丽 |
| 地址 | 221004江苏省徐州市徐州经济技术开发区软件园E1楼669室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种籽晶托，所述籽晶托包括：中心部和环绕组件，环绕组件包括多个依次套设的环形部，位于中心的环形部为内环形部，位于最外侧的环形部为外环形部，内环形部套设在中心部上，沿环绕组件径向向外的方向上，相邻的两个环形部中的位于内侧的环形部的热导系数大于位于外侧的环形部的热导系数，内环形部的热导系数小于中心部的热导系数，中心部的轴向一端的端面和环绕组件的同一轴向一端的端面共同形成籽晶承载面。根据本发明的籽晶托，沿径向向外的方向上，通过将籽晶托的热导系数依次降低，从而可以调节籽晶表面温场，使籽晶的生长速率变为可控制变量，提高晶体质量。 |
