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一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法

基本信息

申请号 CN202111182404.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113976559A 公开（公告）日 2022-01-28
申请公布号 CN113976559A 申请公布日 2022-01-28
分类号 B08B9/08（2006.01）I;B08B9/087（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 佘辉;关春洋;吴亚娟 申请（专利权）人 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 221000江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法，包括可伸缩支撑部件和储液装置，可伸缩支撑部件上部安装有清洗装置，储液装置通过第一管路与清洗装置连接，第一管路上连接有抽水泵，还包括车体、控制器和电源，车体内底部固定有电机，电机输出轴与转盘底部圆心相连，转盘底部与电机之间安装有加强筋，加强筋固定在电机轴与转盘底部之间；可伸缩支撑部件安装在转盘上，其顶部安装有第一距离传感器，其下部安装有接水装置，该接水装置直径大于副室内径，第一距离传感器、电机、抽水泵、电源均与控制器电连接。本发明智能化程度高，操作方便、简单，能够有效地避免清洗液滴落到地面，清洁更加彻底，且适用于多种直径的副室。