探针装置、探针控制设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111054914.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113777356A | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN113777356A | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | G01Q70/00（2010.01）I;G01Q10/00（2010.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 周向前;伊沃·朗格诺 | 申请（专利权）人 | 百及纳米技术（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海上谷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡继清 |
| 地址 | 201807上海市嘉定区工业区叶城路925号B区4幢JT22541室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供了一种探针装置、探针控制设备及方法，涉及探针控制技术领域。探针装置，包括：多个探针、编解码装置；编解码装置用于对接收到的控制处理系统发送的探针控制信号进行解码，并将解码后的探针控制信号分别发送到对应的探针；探针用于根据接收到的探针控制信号对待操作表面进行操作处理，并将得到探针数据信号发送到编解码装置；编解码装置还用于对各探针的探针数据信号进行编码，并将编码后的各探针数据信号发送到控制处理系统。本发明中，可以利用编解码装置在探针装置与控制处理系统之间采用总线进行数据信号的高速传输，使得多探针的探针装置能够进行高速运行模式，有助于提升探针装置的测量和光刻速度。 |
