掩膜装置、显示器件成膜设备及显示器件
基本信息
| 申请号 | CN202121371216.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216107158U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216107158U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈新亮;李楚;苑立阁 | 申请（专利权）人 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人 | 关向兰 |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区光谱中路11号云升科学园1号楼1F | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜装置、显示器件成膜设备及显示器件。所述掩膜装置包括主遮体及遮蔽框。所述遮蔽框与所述主遮体相对设置；所述主遮体与所述遮蔽框之间设有弹性件，所述弹性件的一端连接于所述主遮体，另一端连接于所述遮蔽框。通过在主遮体与遮蔽框之间设置弹性件，使得遮蔽框与主遮体之间具有一定的缓冲，在对发光显示面板进行封装时，发光显示面板朝向遮蔽框运动，抵接在遮蔽框时，发光显示面板可带动遮蔽框一起缓慢向主遮体方向移动，防止发光显示面板与遮蔽框产生直接刚性碰撞，进而保护了发光显示面板的完整性。 |
