一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202010162896.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111354662A | 公开（公告）日 | 2020-06-30 |
| 申请公布号 | CN111354662A | 申请公布日 | 2020-06-30 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 汤叶华;徐永锋;王孟;施成军 | 申请（专利权）人 | 南通欧贝黎新能源电力股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京驰纳智财知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 南通欧贝黎新能源电力股份有限公司 |
| 地址 | 226600江苏省南通市海安县海安镇黄海西路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，属于太阳能电池片制备技术领域，一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，通过酸洗箱与腐蚀酸制备箱的配合，可事先对氢氟酸溶液进行分散处理并进行存储，当装有硅片的清洗篮置于清洗槽后，通过固定机构对清洗篮进行固定，密封板对酸洗箱进行密封，再将腐蚀酸制备箱内的氢氟酸溶液导入其内，在放置硅片时，技术人员不会接触到氢氟酸溶液，起到保护作用，在进行酸洗时，清洗篮随旋转电机进行旋转，易于提高氢氟酸溶液对硅片的酸洗冲击力，从而有利于提高对硅片上的磷硅玻璃去除效率，且在酸洗过程中将反应产生的气态四氟化硅导入至气体过滤池内，易于对有毒气体进行处理。 |
