等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010706843.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113964007A | 公开（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申请公布号 | CN113964007A | 申请公布日 | 2022-01-21 |
| 分类号 | H01J37/20（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱玮 | 申请（专利权）人 | 深圳钛铂数据有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址 | 518052广东省深圳市前海深港合作区南山街道前海青年梦工场4号楼103 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及了等离子蚀刻机的领域，公开了一种等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置及方法，所述装置包括：偏移检测机构，置于等离子刻蚀机的内部，用于在所述等离子刻蚀机对所述晶圆进行刻蚀时，检测所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上相对于目标位置的各偏移角度；以及偏移矫正机构，连接于承载所述晶圆的固定机构，用于在所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上的各偏移角度中任意一者大于预设定的角度阈值时，对所述固定机构进行调整，以使得所述晶圆处于目标位置。本发明可以对偏移的晶圆进行矫正，避免了晶圆刻蚀不彻底。 |
