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一种金属钌的高标定率EBSD制样方法

基本信息

申请号 CN202110868750.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113418946A 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN113418946A 申请公布日 2021-09-21
分类号 G01N23/203（2006.01）I;G01N23/20008（2018.01）I 分类 测量；测试;
发明人 王一晴;张仁耀;袁晓虹;甘建壮;陈国华;毛端;陈雯 申请（专利权）人 贵研铂业股份有限公司
代理机构 天津煜博知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 朱维
地址 650106云南省昆明市高新技术开发区科技路988号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种金属钌的高标定率EBSD制样方法，属于EBSD样品制备技术领域。本发明将真空烧结的金属钌切割成金属钌样品；对金属钌样品的待EBSD分析表面或截面进行机械抛光，再采用乙醇对机械抛光面进行清洗；真空条件下，对金属钌样品的机械抛光面进行能量递减的氩离子抛光处理，取出样品即得金属钌的高标定率EBSD样品。本发明方法可以解决金属钌耐蚀性极强不易电解抛光腐蚀的问题，又能有效地去除样品表面因机械抛光所产生的表面应力层，以及消除高能量离子轰击样品表面产生的非晶层，有利于EBSD测试时获得更强的花样和较高的衍射花样标定率，以便对金属钌进行微观组织与织构的研究；金属钌样品，标定率可达99％以上。