一种高灵敏度的硅麦克风

基本信息

申请号 CN201721134921.2 申请日 -
公开(公告)号 CN207283808U 公开(公告)日 2018-04-27
申请公布号 CN207283808U 申请公布日 2018-04-27
分类号 H04R19/04 分类 电通信技术;
发明人 罗旭辉 申请(专利权)人 四川瑞昊微电子科技有限公司
代理机构 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 代理人 徐翀
地址 518000 广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路清湖工业园宝能科技园9栋A座6E
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高灵敏度的硅麦克风,包括:PCB,安装在所述PCB上的第一壳体,以及位于所述第一壳体内、贴装在所述PCB上的MEMS芯片和IC芯片以及第二壳体;所述第一壳体内形成有第一腔体,所述MEMS芯片和所述PCB之间形成有芯片腔体,所述第二壳体内形成有第二腔体,所述第二腔体和所述芯片腔体通过所述PCB内部开设的导声通道连通,所述第一壳体上开设有声学孔。本实用新型实施例通过增设第二外壳增大了后腔,可以提高硅麦克风的灵敏度,还可以改善硅麦克风的高频频率响应。