一种MEMS振动传感器
基本信息
| 申请号 | CN201921693268.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211240080U | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN211240080U | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 罗旭辉 | 申请（专利权）人 | 四川瑞昊微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐翀 |
| 地址 | 628000四川省广元市广元经济技术开发区石龙工业园（宏天电子产业园） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种MEMS振动传感器，包括PCB和第一壳体，PCB和第一壳体围合成容纳空间，第一壳体上开设有进声孔，容纳空间内设有安装在PCB上的MEMS芯片和ASIC芯片；还包括设在PCB上的第二壳体，第二壳体将第一壳体包覆在内，第二壳体和第一壳体之间构成振动空间，进声孔连通容纳空间和振动空间；振动空间内设有固定在第二壳体底部的振动单元，振动单元包括：固定在第二壳体底部的绷膜环，张紧设置在绷膜环上的振动膜，以及设置在振动膜上的振子。本实用新型的MEMS振动传感器可以拾取振动信号转化为电信号，因此可作为骨导传声器使用；并且，PCB和第二壳体采用全密封结构，具备高级别的防水、防潮、防尘性能。 |
