首页/ 新乡市华盛天龙数控设备有限公司/ 专利详情

一种硅片码片机

基本信息

申请号 CN200910064693.X 申请日 -
公开（公告）号 CN101599421B 公开（公告）日 2011-12-07
申请公布号 CN101599421B 申请公布日 2011-12-07
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张军;张万进;孟红军;倪永帅 申请（专利权）人 新乡市华盛天龙数控设备有限公司
代理机构 新乡市平原专利有限责任公司 代理人 毋致善
地址 453000 河南省新乡市高新技术开发区新飞大道1018号
法律状态 -

摘要

摘要 一种硅片码片机，目的是提供一种效率高、价格低和不易损坏的硅片码片机。本发明的技术解决方案是，一种硅片码片机，在水箱一侧的立板上设有斜置的导轨，此导轨的下部插入水箱中，挂板的滑块滑配在上述导轨的槽中，挂板上端设置的丝母与立板上的滚珠丝杆相配，此滚珠丝杆由伺服马达驱动，挂板的下端设有放置硅片花篮的挡板，挂板上设有感应开关与挡板上的硅片花篮最底层的格栅相对，在与挂板相对的水箱的另一端设有向水箱倾斜的滑板，此滑板的前后两侧设有挡板，此二挡板的内侧距离与硅片的宽度相配，水管的两端分别与滑板的槽和水箱连通，水管上设有水泵。滑板的后部均布有竖向水孔。本发明适用于单晶硅切片。