吸嘴调节机构、芯片搬运装置及方法

基本信息

申请号 CN202110628207.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113394155A 公开(公告)日 2021-09-14
申请公布号 CN113394155A 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L21/683;H01L21/677 分类 基本电气元件;
发明人 李志军 申请(专利权)人 深圳市昂科技术有限公司
代理机构 深圳智汇元权知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 莫莉萍
地址 518000 广东省深圳市南山区粤海街道麻岭社区高新中区麻雀岭工业区3层A1区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种吸嘴调节机构、芯片搬运装置及方法。吸嘴调节机构包括:基座、电机、传动组件、第一螺杆、第二螺杆及第三螺杆,所述电机固设于所述基座上,所述电机一端的输出轴通过所述传动组件与所述第一螺杆连接,所述第一螺杆与所述第三螺杆连接,所述电机另一端的输出轴与所述第二螺杆连接,所述第一螺杆上设有用于与第一吸嘴组件连接的第一螺母连接座,所述第二螺杆上设有用于与第二吸嘴组件连接的第二螺母连接座,所述第三螺杆上设有用于与第三吸嘴组件连接的第三螺母连接座,所述基座还用于固设恒定吸嘴组件。不仅能达到调节吸嘴间距的目的,适应不同间距芯片地搬运,而且占有较小空间。