一种用于芯片加工的具有角度调节功能的拾取设备

基本信息

申请号 CN201910240584.2 申请日 -
公开(公告)号 CN109860093B 公开(公告)日 2021-08-17
申请公布号 CN109860093B 申请公布日 2021-08-17
分类号 H01L21/683 分类 基本电气元件;
发明人 谢开;何桂华 申请(专利权)人 深圳市奈士迪技术研发有限公司
代理机构 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 代理人 赵爱婷
地址 518000 广东省深圳市宝安区航城街道三围社区航空路32号同富裕工业园B栋1层、2层、3层、5层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于芯片加工的具有角度调节功能的拾取设备,包括吸嘴、固定管、连接管、调节机构和控制机构,所述固定管和连接管均同轴设置,所述固定管的外径小于连接管的内径,所述吸嘴安装在固定管的一端,所述固定管的另一端通过调节机构与连接管连接,所述控制机构设置在连接管内,所述控制机构包括密封盘、控制组件和两个限位块,该用于芯片加工的具有角度调节功能的拾取设备通过调节机构实现了调节吸嘴角度的功能,避免吸嘴角度过大而使芯片局部压强过大而损坏,不仅如此,还通过控制机构控制吸嘴吸附芯片的吸力,避免吸嘴吸力多大而导致芯片损坏。