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一种单晶硅提炼生产工艺及其精炼装置

基本信息

申请号 CN201910919061.0 申请日 -
公开（公告）号 CN110528074A 公开（公告）日 2019-12-03
申请公布号 CN110528074A 申请公布日 2019-12-03
分类号 C30B29/06;C30B15/04;C30B15/20 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张大鹏 申请（专利权）人 南通晶耀新能源有限公司
代理机构 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人 南通晶耀新能源有限公司
地址 226000 江苏省南通市海安市海安镇黄海西路188号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于单晶硅提炼技术领域，尤其为一种单晶硅提炼生产工艺及其精炼装置，包括底座，底座顶端的中部固定安装有炉体，底座的边侧垂直固定有四根导向柱，四根导向柱的中部活动嵌合有升降板，升降板的中部固定扣接有炉盖，炉盖的顶端垂直连通有拉伸管道，拉伸管道的内壁活动嵌合有石墨活塞，石墨活塞的底端垂直连接有籽晶棒，石墨活塞的顶端垂直固定连接有滚珠丝杆。本发明设置伺服电机通过变速箱带动丝杆螺母转动，进而螺合带动滚珠丝杆和石墨活塞沿着拉伸管道向下移动，使得籽晶棒接触硅熔体中，能够精确的控制转速，因此能够很好的保证缩颈生长工序、放肩生长工序、等径生长工序和尾部生长工序，以及精确的控制单晶硅棒料的生成速度。