硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法
基本信息
| 申请号 | CN201210011722.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103288086B | 公开（公告）日 | 2015-06-03 |
| 申请公布号 | CN103288086B | 申请公布日 | 2015-06-03 |
| 分类号 | C01B31/36(2006.01)I;C01B33/021(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 王允佳;杨志敏;李孝文 | 申请（专利权）人 | 佳明新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海海颂知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 佳明新材料科技有限公司 |
| 地址 | 212211 江苏省镇江市扬中经济开发区扬中大道段66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片切削液中的碳化硅、硅微粉和聚乙二醇的回收方法，通过将切削液搅拌、过滤、分离出固体和液体两种组分，将固体组分加水搅拌均匀、过滤，得到液体和固体；固体水洗过滤后得到的固体，再经酸洗，烘干，得到硅粉；固体分离成液相和固相，固相漂洗后，经碱洗、酸洗、烘干、筛选得到碳化硅成品；液体组分分离出固相和液相，液相加入脱色剂、助滤剂，经离子交换并蒸馏，得到聚乙二醇产品，该方法操作方便，回收过程，工艺清洁、安全，对环境无污，且碳化硅的回收率可达到80％以上，聚乙二醇的回收率可达到90％以上，硅的回收率可达到75％以上。 |
