掩膜板周转装置
基本信息
| 申请号 | CN201920432829.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209873080U | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN209873080U | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）; C23C14/04（2006.01）; C23C14/12（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 安徽浚颍光电有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 唐军;安徽浚颍光电有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭街道沙湖社区锦龙大道南2-10号1栋3楼、2栋2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括箱体及定位保持件，箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。根据本实用新型实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。 |
