掩膜基板及具有它的掩膜板
基本信息
| 申请号 | CN201920426839.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209873079U | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN209873079U | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）; C23C14/12（2006.01）; C23C14/24（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 唐军 | 申请（专利权）人 | 安徽浚颍光电有限公司 |
| 代理机构 | 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人 | 唐军;安徽浚颍光电有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭街道沙湖社区锦龙大道南2-10号1栋3楼、2栋2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜基板及具有它的掩膜板，其中，该掩膜基板包括基板本体，基板本体具有蒸镀面、与蒸镀面相背的玻璃面及自蒸镀面贯穿至玻璃面的多个蒸镀孔；蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。根据本实用新型提供的掩膜基板及具有它的掩膜板，蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面，如此，一方面，有机材料能够挂在该粗糙面上，不易掉落至下方的蒸发源中，可以确保蒸发源的洁净度，减少有机材料的浪费，降低成材料成本。另一方面，可以提高掩膜板单次使用时间，进而提高生产效率。再一方面，掩膜板单次使用时间越长，则可以减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本。 |
