MOCVD设备尾气冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202110923152.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113606966A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113606966A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | F28D7/10（2006.01）I;F28F1/36（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 一般热交换; |
| 发明人 | 周国山;蔡渊;迮建军 | 申请（专利权）人 | 东部超导科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范晴;顾天乐 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴江区江陵街道大兢路518号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种MOCVD设备尾气冷却装置，属于高温超导材料加工设备技术领域。该MOCVD设备尾气冷却装置包括两端开口的冷却筒；冷却筒中沿轴向设有内管，内管上固定有涡旋叶片；内进液管和内出液管穿设在冷却筒筒壁上并与冷却筒筒壁密封连接；冷却筒在筒壁外侧套设有外管，外管上设有外进液管和外出液管，外管与冷却筒之间形成夹层，外进液管和外出液管分别与夹层连通。本发明通过增设冷却装置，降低运输气体进泵前的初始温度，从而避免出现工艺尾气焦化现象。 |
