高频加热真空腔与螺旋加热铜管的密封结构

基本信息

申请号 CN202121891821.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215887207U 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN215887207U 申请公布日 2022-02-22
分类号 C23C14/30(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 周国山;蔡渊;迮建军 申请(专利权)人 东部超导科技(苏州)有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;顾天乐
地址 215000江苏省苏州市吴江区江陵街道大兢路518号
法律状态 -

摘要

摘要 一种高频加热真空腔与螺旋加热铜管的密封结构,属于超导材料加工设备技术领域。该高频加热真空腔与螺旋加热铜管的密封结构包括真空腔腔壁,真空腔腔壁上设有铜管过孔;在真空腔腔壁外侧,对应铜管过孔设有穿线转接件,穿线转接件上套设有锁紧螺母,穿线转接件和锁紧螺母均设有穿线过孔,穿线过孔孔径小于铜管过孔孔径;穿线转接件与真空腔腔壁之间设有第一密封圈密封,穿线转接件与锁紧螺母之间设有第二密封圈密封。本实用新型能够保证螺旋加热铜管的线型杆部与真空腔之间具有优异的真空密封性能。