一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置
基本信息
| 申请号 | CN201720267203.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206790765U | 公开（公告）日 | 2017-12-22 |
| 申请公布号 | CN206790765U | 申请公布日 | 2017-12-22 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 邬钦崇;邬明旭;全峰 | 申请（专利权）人 | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。 |
