一种大功率微波等离子体粉体处理器
基本信息
| 申请号 | CN202010590323.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111715162A | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN111715162A | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | B01J19/12(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 全峰;蒋礼;刘望宏 | 申请（专利权）人 | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京冠和权律师事务所 | 代理人 | 陈国军 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道塘头社区石岩街道松白路中运泰科技工业厂区厂房七八层东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大功率微波等离子体粉体处理器，包括矩形波导，所述矩形波导上设置有穿过矩形波导到微波谐振腔的微波天线，所述微波谐振腔包括圆柱腔体，以及设置在圆柱腔体内的石英钟罩，所述石英钟罩将圆柱腔体分隔成上腔体和下腔体，所述下腔体的下端连接有排气腔，且下腔体与排气腔之间为密封连接，所述圆柱腔体的内径从上到下逐渐增大，所述下腔体的内部设置有用于增添放置处理粉体的流化床杯。本发明通过微波天线将矩形波导中的TE模转化为圆柱腔体中的TM模，加大了反应室容积，解决了流化床杯尺寸受限制的问题，从而能够比现有的石英管式流化床式装置处理更多的粉体。 |
