一种新型微波等离子体处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201720164441.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206481488U | 公开（公告）日 | 2017-09-08 |
| 申请公布号 | CN206481488U | 申请公布日 | 2017-09-08 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 邬钦崇;邬明旭;全峰 | 申请（专利权）人 | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型微波等离子体处理装置，由石英管和微波腔及微波源组成，石英管穿过矩形波导微波腔的宽边面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端为短路板，穿过矩形波导的宽边面的石英管的上下两端各有一段金属管与矩形波导相连接，石英管的一端有第一进气接口，与工作气体气路系统相连接，伸入反应室的石英管的端口伸进旋转鼓容器。本实用新型利用石英管式微波等离子体源产生等离子体，输入到固定的反应室中，在反应室内放置一个旋转鼓，在旋转鼓的容器内放置待处理的粉体、短纤维或颗粒，构成一种微波等离子体处理装置。用这种装置，可对粉体、短纤维、颗粒等进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。 |
