一种微波等离子体粉体处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201720204055.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206596282U | 公开（公告）日 | 2017-10-27 |
| 申请公布号 | CN206596282U | 申请公布日 | 2017-10-27 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;C01B32/28(2017.01)I;C01B32/194(2017.01)I;C01B21/064(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 邬钦崇;邬明旭;全峰 | 申请（专利权）人 | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微波等离子体粉体处理装置，包括安装于角度调节架上的装置体，所述装置体包括管式微波等离子体源，管式微波等离子体源由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的介质管，矩形波导的一端连接微波源，其另一端连接可调节短路板，介质管一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接。本实用新型用石英管式微波等离子体源，增添放置处理粉体的石英制成的旋转鼓杯，构成一种微波等离子体粉体处理装置，用这种装置，将纳米级或微米级的金刚石粉体、石墨烯粉体、立方氮化硼粉体或其他无机物粉体放置入旋转鼓杯，在管式微波等离子体源的高密度等离子体区域进行表面刻蚀、净化、接枝、沉积等功能化处理。 |
