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一种微波等离子体粉体处理器

基本信息

申请号	CN201720164474.9	申请日	-
公开（公告）号	CN206595225U	公开（公告）日	2017-10-27
申请公布号	CN206595225U	申请公布日	2017-10-27
分类号	H01J37/20(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	邬钦崇;邬明旭;全峰	申请（专利权）人	深圳优普莱等离子体技术有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种微波等离子体粉体处理器，包括由石英、陶瓷或耐热玻璃介质制成的管式微波等离子体源，管式微波等离子体源穿过微波矩形波导的H面，矩形波导的一端连接微波源，矩形波导的另一端连接可调节短路板，穿过微波矩形波导的H面的介质管的上下两端由水冷金属法兰和O形胶圈密封形成真空室，其一端与水冷金属法兰相连接，另一端与矩形波导的H面相连接。本实用新型增添放置处理粉体的石英(或陶瓷)制成的杯形的流化床(流化床杯)，构成一种微波等离子体粉体处理器。用这种装置，将无机材料粉体放置入流化床杯，在管式微波等离子体源的高密度等离子体区域(等离子体球中)进行表面清洗、净化、活化、氢化、刻蚀、接枝、沉积及其它功能化等处理。