一种激光切割设备
基本信息
申请号 | CN202110239373.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112958918A | 公开(公告)日 | 2021-06-15 |
申请公布号 | CN112958918A | 申请公布日 | 2021-06-15 |
分类号 | B23K26/362(2014.01)I;B23K26/38(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I | 分类 | 机床;不包含在其他类目中的金属加工; |
发明人 | 陈洁 | 申请(专利权)人 | 福唐激光(苏州)科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种激光切割设备,其在切割之前进行半导体工件的预热,并在切割时,利用喷射气体进行持续加热,以防止激光切割时,激光局部温度过高所造成变形;使用倾斜治具校正激光切割后的工件的倾角问题,使得切割后的部件为垂直侧面;利用多个气体喷射孔进行气体喷射,防止切割的部件掉落到激光正下方,防止激光损坏部件。 |
