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一种导电柱的激光形成方法

基本信息

申请号 CN202110058795.1 申请日 -
公开（公告）号 CN112735957A 公开（公告）日 2021-04-30
申请公布号 CN112735957A 申请公布日 2021-04-30
分类号 H01L21/60 分类 基本电气元件;
发明人 陈洁 申请（专利权）人 福唐激光（苏州）科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种导电柱的激光形成方法，其利用激光对导电柱的第二端进行局部退火工艺，以形成具有保形功能和防止漏电功能的金属硅化物层，然后再进行刻蚀形成露头结构。后续在导电柱的第二端形成焊球时，该金属硅化物的硅材料进入焊球中可以保证焊球的接合可靠性且能够抑制氧化。