一种激光修复型导电柱
基本信息
| 申请号 | CN202120112240.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213958907U | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN213958907U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | H01L21/60（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈洁 | 申请（专利权）人 | 福唐激光（苏州）科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种激光修复型导电柱，其包括中介板，所述中介板具有相对的第一表面和第二表面；多个导电柱，形成于所述中介板中且贯穿所述第一表面和第二表面，且所述多个导电柱的第一端从所述第一表面露出，所述多个导电柱的第二端从所述第二表面上突出形成露头部分，其中，所述多个导电柱具有第一孔径；再分布层，形成于所述第一表面上且电连接所述多个导电柱；金属硅化物层，形成在所述多个导电柱的第二端的侧壁上；多个焊球，形成在所述多个导电柱的第二端上，且所述多个焊球至少包括硅。 |
