一种激光修复型导电柱

基本信息

申请号 CN202120112240.6 申请日 -
公开(公告)号 CN213958907U 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN213958907U 申请公布日 2021-08-13
分类号 H01L21/60(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 陈洁 申请(专利权)人 福唐激光(苏州)科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种激光修复型导电柱,其包括中介板,所述中介板具有相对的第一表面和第二表面;多个导电柱,形成于所述中介板中且贯穿所述第一表面和第二表面,且所述多个导电柱的第一端从所述第一表面露出,所述多个导电柱的第二端从所述第二表面上突出形成露头部分,其中,所述多个导电柱具有第一孔径;再分布层,形成于所述第一表面上且电连接所述多个导电柱;金属硅化物层,形成在所述多个导电柱的第二端的侧壁上;多个焊球,形成在所述多个导电柱的第二端上,且所述多个焊球至少包括硅。