一种激光修复型导电柱
基本信息
申请号 | CN202120112240.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213958907U | 公开(公告)日 | 2021-08-13 |
申请公布号 | CN213958907U | 申请公布日 | 2021-08-13 |
分类号 | H01L21/60(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 陈洁 | 申请(专利权)人 | 福唐激光(苏州)科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 215000江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种激光修复型导电柱,其包括中介板,所述中介板具有相对的第一表面和第二表面;多个导电柱,形成于所述中介板中且贯穿所述第一表面和第二表面,且所述多个导电柱的第一端从所述第一表面露出,所述多个导电柱的第二端从所述第二表面上突出形成露头部分,其中,所述多个导电柱具有第一孔径;再分布层,形成于所述第一表面上且电连接所述多个导电柱;金属硅化物层,形成在所述多个导电柱的第二端的侧壁上;多个焊球,形成在所述多个导电柱的第二端上,且所述多个焊球至少包括硅。 |
